Galvanoformung: Verfahren zum Aufbau metallischer Präzisions- und Mikrokomponenten
Galvanoformung: Verfahren zum Aufbau metallischer Präzisions- und Mikrokomponenten
Zur Herstellung von mikrostrukturierten Metallfolien und -komponenten sowie Prägewerkzeugen für die Kunststoffabformung nimmt die Galvanoformung eine immer wichtigere Rolle ein. Wenn es um die Herstellung präziser Lochgeometrien in Folien für die Filtration, Zerstäubung oder Separation geht, um optische Blenden mit präziser Blendengeometrie, um Schablonen für den Siebdruck oder um Formwerkzeuge für die Abformung von Kunststofffolien und Komponenten, steht die Galvanoformung im Mittelpunkt der Prozesskette.
Ausgangspunkt dieser Prozesskette ist eine strukturierte Photolackvorlage auf einem metallisierten Glas- oder Silizium-Substrat, die mittels photolithographischer Verfahren hergestellt wird. Im Galvanikbad wird dann das Metall in den nicht vom Photolack bedeckten Bereichen Atom für Atom aufgebaut. Bevorzugtes Metall ist Nickel, aufgrund der vorteilhaften mechanischen und physikalischen Eigenschaften und der gut kontrollierbaren galvanischen Abscheidung.
Vorteile im Überblick
- Additiver Prozess mit hoher Materialreinheit
- Vielfalt an Formen und Dimensionen
- 2,5D-Strukturen möglich
- Hohe Präzision bis in den Nanometerbereich
- Hohe Aspektverhältnisse (Höhe/Breite)
- Mikro-Nano-Oberflächenstrukturierung
- Gratfreie Produkte
Richtspezifikationen
Größe
- Glasträger: bis 500 mm x 600 mm
- Waferträger: bis zu einem Durchmesser von 200 mm
Trompetenprofil
Dichte (+/-5%):
Standard 5 – 100 µm
nach Rücksprache 200 µm
Breite :
Standard ≥ 1 µm
nach Rücksprache 0,5 µm
Höhe-Breiten-Verhältnis :
bis 10
Zylinder
Dichte (+/-5%):
Standard 5 – 100 µm
nach Rücksprache 200 µm
Breite :
Lithographie mit Trockenlack ≥ 10 µm
Lithographie mit Flüssiglack ≥ 1,5 µm
Höhe-Breiten-Verhältnis :
Standard bis 3
nach Rücksprache bis 5
Zweistufenprofil
Dichte (+/-5%):
Schicht 1 1 – 10 µm
Schicht 2 10 – 100 µm
nach Rücksprache 200 µm
Breite :
Standard ≥ 1 µm
nach Rücksprache 0,5 µm
Höhe-Breiten-Verhältnis :
bis 50
Materialien
Beschichtung
- Hartes Nickel:
– Härte von ungefähr 680 HV
– Beide Seiten glänzend - Weiches Nickel:
– Härte von ungefähr 200 HV
– Glänzende Vorderseite und matte Rückseite
- Gold (auch für Biokomptabilität)
- Schwarzes Nickel
- Schwarzes Chrom
Anwendungen
- Formmatritzen (mit Strukturen von 10 nm – 1 mm)
- Kodierscheiben
- Kontaktsonden
- Optische Blenden
- Präzisionskomponenten
- Schablonen
- Schattenmasken
- Siebe für Filtration in den Bereichen Cleantech und Lebensmittelindustrie
- Zerstäuberdüsen
- Lochblenden
- Depositionsmasken
- Filter
- Microzahnräder
- Mikronanodüsen
- Optische Masken